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氬氣流量就是每分鐘流入儀器的氬氣體積數，其單位用L/min 表示。由于光電直讀光譜分析是在氬氣氛圍條件下進行的，要想保持這個氬氣氛圍，就必須選擇好氬氣流量這個參數。如果氬氣流量過小，火花室中的空氣沒有排凈，空氣中的氧氣對紫外光有強烈的吸收作用，使譜線的強度大大減弱，分析靈敏度急劇下降；同時，由于散熱太慢導致樣品或電極發生變形，火花室中的空氣和試樣激發分解出來的含氧化物產生擴散放電；激發過程中產生的大量金屬蒸氣或粉塵積聚在火花室無法及時排除至機外，很容易對聚光鏡（透鏡）造成污染。上述現象的存在都會對分析結果的準確度產生影響。氬氣流量過大，在激發樣品時火花產生跳動，也會對分析結果的準確度產生影響，另外也造成氬氣資源浪費，增加使用成本。因此，氬氣流量的最佳值選擇是必要的。實際應用中，應根據不同的參數，調節相應的氬氣流量。