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1、氬氣的電離電位較低，作為工作氣體可降低分析間隙的擊穿電壓。在1個大氣壓下，均勻電場中空氣氣氛中的分析間隙擊穿電壓3000V/mm，氬氣氣氛中為1000V/mm。分析間隙的擊穿電壓越低就越容易放電激發，因此擊穿電壓越低有利于獲得較穩定的特征光譜強度。

2、氧氣是原子狀態的氣體，而空氣（氮、氧）是分子狀態。它們經激發后，氬原子所產生的激發光譜（800mm）比空氣（氮、氧）的激發光譜（分子光譜帶）要簡單，其連續背景要低很多。

3、氬氣作為保護氣，在激發過程中，不會與樣品金屬蒸氣形成其他化合物，可防止分析樣品和電極不被空氣氧化、氮化。這是因為空氣是由氮氣和氧氣組成的。在高溫下，分析樣品和電極可被氧化生成氧化物，或者氮化生成氮化物，而氧化物和氮化物不具有導電性，可導致分析樣品激發停止、中斷工作，上述現象的出現將直接影響各元素的光強度值。氬氣是惰性氣體，在高溫下不和任何金屬發生反應，它的使用將可有效地杜絕金屬的氧化和氮化。

4、氬氣可以傳輸真空紫外光譜（200nm以下），可杜絕紫外區的特征光譜被吸收。吹氬的主要作用是，試樣激發時趕走火花室內的空氣，減小空氣對紫外光區譜線的吸收。主要是在遠紫外區，空氣中的氧氣、水蒸氣具有強烈的吸收帶，對分析結果造成很大的影響，且不利于激發穩定，形成或加強擴散放電，激發時產生白點。另外，在高溫情況下樣品中的合金元素可能會與空氣中成分發生化學反應生成化合物，從而產生分析光譜，對我們所需的原子光譜造成干擾。碳、氮、硫、磷等元素其特征譜線都在紫外區。

5、樣品被激發時氬氣可帶走熱量和粉塵，并消除記憶效應，凈化分析環境。氣體具有流動性，不但可以帶走多余的熱量，還可以帶走大量的粉塵。當溫度較高時，使樣品或電極發生膨脹現象，導致分析間院發生變化。粉塵的存在可使分析過程具有記憶效應或者影響光譜光路，不管是哪種情況，都會影響分析結果的準確度。

光電直讀光譜儀所用氬氣的純度，必須滿足GB/T- 4842-2006《氬》中的高純氬等級，及氬氣純度必須≥99.999%